到21世紀(jì)以來(lái)，微電子技術(shù)、大規(guī)模集成電路技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)達(dá)到成熟期，光電子技術(shù)進(jìn)入發(fā)展的中期，超導(dǎo)電子等新技術(shù)將進(jìn)入發(fā)展的初期，均為研制新一代傳感器提供了發(fā)展的條件?？梢灶A(yù)測(cè)：①M(fèi)ENT技術(shù)將高速發(fā)展，成為新一代微傳感器、微系統(tǒng)的核心技術(shù)，是21世紀(jì)傳感器技術(shù)領(lǐng)域中帶有革命性變化的高新技術(shù)。②新型敏感材料將加速開(kāi)發(fā)，微電子、光電子、生物化學(xué)、信息處理學(xué)科、技術(shù)相互滲透和綜合利用，可望研制住一批先進(jìn)傳感器。③二次傳感器和傳感器系統(tǒng)的比例大幅度增漲，集成化、智能化傳感器和傳感器系統(tǒng)成為傳感器發(fā)展的主要方向。④將出現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)化傳感器。靈敏元件與傳感器發(fā)展的總趨勢(shì)是集成化、多功能化、智能化和系統(tǒng)化。目前市場(chǎng)需求呈現(xiàn)多樣化，對(duì)壓力傳感器芯片產(chǎn)品要求不斷提升，對(duì)行業(yè)的整體發(fā)展帶來(lái)了較大的積極性。影響壓力傳感器芯片（壓力敏感元件）行業(yè)發(fā)展的主要因素有國(guó)家政策導(dǎo)向、相關(guān)行業(yè)發(fā)展、行業(yè)技術(shù)發(fā)展、社會(huì)需求變化等，國(guó)家政策和社會(huì)需求是壓力傳感器芯片發(fā)展的主要驅(qū)動(dòng)力。

一、國(guó)家政策導(dǎo)向

隨著壓力傳感器芯片行業(yè)的快速發(fā)展，一些發(fā)展問(wèn)題也相互產(chǎn)生，如行業(yè)無(wú)序競(jìng)爭(zhēng)，產(chǎn)品質(zhì)量難以保證，為了保證行業(yè)穩(wěn)定發(fā)展，有關(guān)部門(mén)出臺(tái)了一些相關(guān)政策，在一定程度上制止了不利因素的發(fā)展。壓力傳感器芯片行業(yè)“十二五”規(guī)劃跨越2011年至2015年，將以行業(yè)戰(zhàn)略宣言的形式，為這個(gè)崛起中的東方國(guó)度的壓力傳感器芯片行業(yè)未來(lái)五年的邁步立指針。未來(lái)的“十二五”將是“中國(guó)制造”實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)型和跨越提升的關(guān)鍵時(shí)期，中國(guó)壓力傳感器芯片企業(yè)更需要未雨綢繆，科學(xué)制定企業(yè)未來(lái)五年的發(fā)展戰(zhàn)略和實(shí)施規(guī)劃。

壓力傳感器芯片行業(yè)“十二五”整體規(guī)劃，“十二五”時(shí)期，行業(yè)發(fā)展要堅(jiān)持以下原則：

自主創(chuàng)新。立足于原始創(chuàng)新、集成創(chuàng)新和引進(jìn)消化吸收再創(chuàng)新，把自主創(chuàng)新作為高技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展的戰(zhàn)略基點(diǎn)，完善技術(shù)創(chuàng)新體系，強(qiáng)化企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新主體地位，培育自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)核心技術(shù)和自主品牌，著力提升產(chǎn)業(yè)自主發(fā)展能力。

著力應(yīng)用。立足于經(jīng)濟(jì)社會(huì)發(fā)展的需要，開(kāi)發(fā)關(guān)鍵技術(shù)，研制重大裝備，強(qiáng)化推廣應(yīng)用，推進(jìn)經(jīng)濟(jì)社會(huì)信息化，改進(jìn)生產(chǎn)和管理方式，降低資源能源消耗，減少環(huán)境污染，促進(jìn)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整和技術(shù)進(jìn)步。

產(chǎn)業(yè)集聚。立足于資源的優(yōu)化配置，把產(chǎn)業(yè)集聚作為行業(yè)發(fā)展的戰(zhàn)略途徑,加快產(chǎn)業(yè)向優(yōu)勢(shì)區(qū)域和主要中心城市的集聚，發(fā)揮輻射帶動(dòng)作用，進(jìn)一步延伸完善產(chǎn)業(yè)鏈，形成具有較強(qiáng)競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)業(yè)集群。

規(guī)模發(fā)展。立足于加快培育新的產(chǎn)業(yè)增長(zhǎng)點(diǎn)，把自主創(chuàng)新成果的產(chǎn)業(yè)化作為行業(yè)發(fā)展的戰(zhàn)略突破口，完善產(chǎn)業(yè)化環(huán)境，發(fā)展創(chuàng)業(yè)風(fēng)險(xiǎn)投資，培育具有較強(qiáng)競(jìng)爭(zhēng)力的高技術(shù)企業(yè)群和知名品牌，開(kāi)拓新興市場(chǎng)，推動(dòng)科技成果轉(zhuǎn)化為現(xiàn)實(shí)生產(chǎn)力，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)持續(xù)快速增長(zhǎng)。

國(guó)際合作。立足于充分利用全球資源，把擴(kuò)大國(guó)際合作作為行業(yè)發(fā)展的戰(zhàn)略選擇，引導(dǎo)外資投向，加強(qiáng)技術(shù)合作，發(fā)展重點(diǎn)產(chǎn)業(yè)，開(kāi)拓海外市場(chǎng)，推進(jìn)跨國(guó)經(jīng)營(yíng)，培育國(guó)際化產(chǎn)業(yè)配套體系，更高層次、更大范圍地參與國(guó)際分工。

壓力傳感器芯片行業(yè)“十二五”規(guī)劃預(yù)測(cè)

根據(jù)對(duì)行業(yè)政策的研究和解讀，未來(lái)五年的目標(biāo)則是完成中國(guó)壓力傳感器芯片產(chǎn)業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力從制造競(jìng)爭(zhēng)力向貿(mào)易競(jìng)爭(zhēng)力的轉(zhuǎn)變。在國(guó)外市場(chǎng)上，自主品牌必須進(jìn)入傳統(tǒng)市場(chǎng)，這樣才能形成國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力，并改變低價(jià)形象。

二、相關(guān)行業(yè)發(fā)展

傳感器是人類(lèi)探知自然界的觸覺(jué)，為人們認(rèn)識(shí)和控制相應(yīng)的對(duì)象提供條件和依據(jù)。在信息社會(huì)中，人們?yōu)榱送苿?dòng)社會(huì)生產(chǎn)力的發(fā)展，需要用傳感器來(lái)檢測(cè)許多非電量信息，傳感器是流程自動(dòng)控制系統(tǒng)和信息系統(tǒng)的關(guān)鍵技術(shù)之器件，其技術(shù)水平將直接影響到自動(dòng)化系統(tǒng)和信息系統(tǒng)的水平。目前世界上的傳感器的種類(lèi)約有2萬(wàn)多種，當(dāng)前傳感器的發(fā)展主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面：

傳感器的體積越來(lái)越小，微傳感器技術(shù)發(fā)展迅速。隨著半導(dǎo)體集成技術(shù)和微加工技術(shù)的發(fā)展，微型傳感器得到了迅速發(fā)展。微型傳感器具有尺寸微小、功耗小、啟動(dòng)快、成本低、測(cè)量精度和靈敏度高、易于實(shí)現(xiàn)數(shù)字化和智能化等優(yōu)點(diǎn)，且制作精確、重復(fù)性好、易于集成化，因此將廣泛應(yīng)用于工程、生物和航空等領(lǐng)域。

此外，微傳感器還可以實(shí)現(xiàn)把傳感器和測(cè)量電路集成在一起，用于惡劣環(huán)境下得測(cè)量。例如：電容式壓力傳感器就是這樣一種新型傳感器。這種微傳感器把測(cè)量電路、參考電容和測(cè)量電容制作在一起，并且在零壓時(shí)，參考電容和測(cè)量電容的值完全一樣，置于同一壓力場(chǎng)中，使參考電容的電容值不隨壓力的變化而變化。

三、行業(yè)技術(shù)發(fā)展

利用新的物理現(xiàn)象、化學(xué)反應(yīng)、生物效應(yīng)作為傳感器原理。日本夏普公司利用超導(dǎo)技術(shù)研制成功高溫超導(dǎo)磁性傳感器，是傳感器技術(shù)的重大突破，其靈敏度僅次于超導(dǎo)量子干涉器件。而它的制造工藝遠(yuǎn)比超導(dǎo)量子干涉器件簡(jiǎn)單，可用于磁成像技術(shù)：抗體和抗原在電極表面相遇復(fù)合時(shí)會(huì)引起電極電位的變化，利用這一現(xiàn)象可以制成免疫傳感器。用這種抗體制成的免疫傳感器可以對(duì)生物體內(nèi)是否有這種抗原進(jìn)行檢查。美國(guó)加州大學(xué)已經(jīng)研制出這種傳感器。

利用新材料。傳感器材料是傳感器技術(shù)的基礎(chǔ)，一些新型傳感器隨著材料科學(xué)的發(fā)展而涌現(xiàn)。高分子聚合物能隨周?chē)h(huán)境的相對(duì)濕度的大小而成比例的吸收或釋放水分子。高分子的介電常數(shù)小，水分子能提高聚合物的介電常數(shù)。將高分子電介質(zhì)做成電容器測(cè)定電容量的變化，即可得出相對(duì)濕度。利用這個(gè)原理制成等離子聚合法聚苯乙烯薄膜溫度傳感器。陶瓷電容式壓力傳感器是一種無(wú)中介液的干式壓力傳感器。它采用了先進(jìn)的陶瓷技術(shù)和薄膜電子技術(shù)，年漂移量小于0.1%F.S，溫漂小于0.5%/10K，性能穩(wěn)定，抗過(guò)載性強(qiáng)。光導(dǎo)纖維的應(yīng)用是傳感材料的重大突破。溫度、壓力、電場(chǎng)、磁場(chǎng)等環(huán)境條件變化都會(huì)引起光纖傳輸?shù)墓獠◤?qiáng)度、相位、頻率、偏振態(tài)等變化。測(cè)量光波量的變化就可以知道導(dǎo)致這些變化的溫度、壓力、電場(chǎng)、磁場(chǎng)等物理量的大小，利用這個(gè)原理就可以研制出光導(dǎo)纖維傳感器。哈爾濱工業(yè)大學(xué)研制成功了“新型本征半導(dǎo)電高分子壓力溫度雙參傳感器”。所使用的自由基高聚物是一種壓敏系數(shù)極高的高分子材料，通過(guò)表面處理調(diào)整平面工藝的攙雜工藝參數(shù)，實(shí)現(xiàn)了在一定參數(shù)范圍內(nèi)，力敏芯片溫度靈敏漂移控制在50/00之內(nèi)。

利用新的加工技術(shù)。半導(dǎo)體中的一些加工技術(shù)，如：氧化、光刻、沉積、平面電子工藝、各相導(dǎo)性腐蝕及蒸鍍、濺射薄膜等，都已經(jīng)引進(jìn)傳感器制造中來(lái)，產(chǎn)生了各種新型傳感器。如利用半導(dǎo)體技術(shù)制造出硅微傳感器：利用薄膜工藝制造出快速響應(yīng)的氣敏、濕敏傳感器：利用濺射薄膜工藝制造壓力傳感器等。日本橫河公司利用各向?qū)愿g技術(shù)進(jìn)行高精度三維加工，制成全硅諧振式壓力傳感器。美國(guó)SMI公司開(kāi)發(fā)的硅微壓力傳感器，它經(jīng)過(guò)多次蝕刻將惠斯登電橋制于硅膜片上，當(dāng)硅膜片上方受力時(shí)，產(chǎn)生變形，電阻產(chǎn)生壓電效應(yīng)而失去平衡，輸出與壓力成比例的電信號(hào)。這樣的硅微傳感器是當(dāng)今傳感器發(fā)展的前沿技術(shù)。

傳感器的這些發(fā)展為傳感器向智能化方向發(fā)展奠定了基礎(chǔ)，這也正是傳感器發(fā)展的總體趨勢(shì)。首先，集成傳感器的優(yōu)勢(shì)是傳統(tǒng)傳感器無(wú)法達(dá)到的，它不僅僅是一個(gè)簡(jiǎn)單的傳感器，其將輔助電路中的元件與傳感元件集成在一塊芯片上，使之具有校準(zhǔn)、補(bǔ)償、自診斷和網(wǎng)絡(luò)通訊的功能。而智能化傳感器一種帶微處理器的傳感器，是微型計(jì)算機(jī)和傳感器技術(shù)相結(jié)合的產(chǎn)物，它兼有檢測(cè)、判斷和信息處理等功能，與傳統(tǒng)的傳感器相比有很多優(yōu)點(diǎn)：具有判斷和信息處理功能，能對(duì)測(cè)量值進(jìn)行修正、誤差補(bǔ)償，因而提高測(cè)量精度：能實(shí)現(xiàn)多傳感器多參數(shù)測(cè)量：有自診斷和自校準(zhǔn)功能，提高可靠性：測(cè)量數(shù)據(jù)可存取，使用方便：有數(shù)據(jù)通訊接口，能與微型計(jì)算機(jī)直接通訊。