薄膜壓力傳感器微小信號的電路調(diào)理設(shè)計
1、設(shè)計目的
針對微壓薄膜壓力傳感器,設(shè)計一傳感器用微小信號調(diào)理電路,將傳感器四臂差動全橋輸出的微弱信號進行濾波、放大、補償、校準等處理。將微小的壓力信號轉(zhuǎn)換為標準的電信號。
2、電路性能指標要求
(1)差分電壓輸入范圍:小于0.2mV/V;
(2)調(diào)理電壓輸出范圍:0~5V.DC;
(3)工作溫度范圍:-55℃~+125℃;
(4)零點溫漂:0.03%/℃;
(5)非線性:0.1%/FS。
3、設(shè)計難點
信號源幅度小于0.2mV/V。由于微壓傳感器感受的壓力形變小,導(dǎo)致電橋電阻的變化相對于大量程壓力傳感器要小得多,這樣電橋在激勵源的作用下,輸出的差分電壓也很小。微小的電壓信號容易受到噪聲的干擾,也容易受到放大器本身的溫漂、失調(diào)電壓的影響,同時不利于數(shù)字處理電路進行處理。
傳感器的零點偏移補償要求。四臂全橋的橋阻雖然在設(shè)計時充分考慮了其對稱性,但在生產(chǎn)過程中總會引入偏差,壓力傳感器輸出的電壓信號一般都會有5mV到30mV不等的零點偏移。為了保證壓力和標準信號輸出的關(guān)系,必須補償零點偏移量。
傳感器的非線性補償要求。受到彈性元件的影響,微小量程的壓力傳感器也不可免的存在非線性,要求信號調(diào)理電路要能夠?qū)鞲衅鞯姆蔷€性進行補償,減小傳感器的非線性偏差。
寬的工作溫度范圍(-55℃~125℃)。在如此寬的溫度工作范圍內(nèi),即使使用低溫度系數(shù)的合金電阻,橋阻的阻值也會由于溫度的變化而發(fā)生漂移。導(dǎo)致傳感器的輸出信號產(chǎn)生溫度漂移。另外,半導(dǎo)體集成電路受溫度影響也很明顯,在放大信號的同時也引入了一定的溫漂,因此必須進行溫度補償。
為減小電路的體積,盡量選用集成電路,但集成電路大部分工作溫度范圍為-40℃~85℃。能夠-在55℃~125℃工作,體積小巧的信號放大處理芯片可選擇較少。
4、解決方案
目前,能夠在較寬的溫度范圍內(nèi)工作且能夠進行溫度補償?shù)臉蚴絺鞲衅餍盘栒{(diào)理芯片有MAX1452。具備零點偏移補償、非線性補償功能,且1452工作范圍只有-40℃~125℃。通過使用前置差分運放將傳感器的輸出電壓進行放大,然后給MAX1452進行處理。這樣MAX1452使用較小的放大倍數(shù)就可檢測到輸入信號,小的放大倍數(shù)可以減小噪聲干擾。但是,增加電路加大了電路板的尺寸。差分放大電路不可避免的引入信號畸變。此電路可將非線性為1.5%的信號校準為0.1%,線性度可以提高15倍。
5、結(jié)論
通過試驗證明,采用MAX1452設(shè)計方案滿足薄膜壓力傳感器微小信號的電路調(diào)理的設(shè)計要求。 本文源自澤天傳感,版權(quán)所有,轉(zhuǎn)載請保留出處。