高溫集成電路是制約高溫壓力變送器研制的重要因素
過去,由于無法獲得高溫IC,石油和天然氣等行業(yè)的高溫壓力傳感器的設(shè)計只能使用遠(yuǎn)高于額定規(guī)格的標(biāo)準(zhǔn)溫度器件。有些標(biāo)準(zhǔn)溫度的IC確實(shí)能在高溫下工作,但是使用起來非常困難,并且十分危險。例如,工程師必須確定可能選用的器件,充分測試并描述其溫度性能,并驗(yàn)證其長期可靠性。器件的性能和壽命經(jīng)常會大幅遞減。這一過程充滿挑戰(zhàn)且昂貴耗時:器件驗(yàn)證需要用高溫印刷電路板(PCB)和設(shè)備在實(shí)驗(yàn)室烤箱中進(jìn)行測試,測試時間至少應(yīng)達(dá)到任務(wù)剖面所需的時間。由于可能面臨新的故障機(jī)制,測試速度很難加快。測試過程中如出現(xiàn)故障,需要再次選擇器件并經(jīng)過長期測試,從而延長項(xiàng)目時間。此外,工作情況無法獲得保證,性能可能隨器件批次而變化。具體而言,IC工藝變化會在極端溫度時導(dǎo)致意外故障。
塑料封裝只在不超過約175°C時保持魯棒,且工作壽命減少。在這一溫度限值附近,如果不進(jìn)行昂貴耗時的實(shí)驗(yàn)室故障分析,很難區(qū)分故障是因封裝還是硅材料引起的。陶瓷封裝的標(biāo)準(zhǔn)器件供貨較為稀缺。
惡劣環(huán)境下使用的集成電路通常不僅要能承受高溫,還要能承受沖擊和振動。許多傳感器工程師都喜歡采用帶引腳的封裝,因?yàn)檫@些封裝可以為PCB提供更加魯棒的安裝。由于其他行業(yè)傾向于小型無引腳封裝,會進(jìn)一步限制器件的選擇。最好采用裸片形式的器件,尤其是在器件只提供塑料封裝的情況下。然后,芯片可以采用符合高溫的密封封裝或多芯片模式重新封裝。但是,能夠在高溫下工作的器件原本就不多,能夠通過測試的芯片就更少。
由于時間和測試設(shè)備限制,業(yè)界工程師可能傾向于將器件的條件限制在特定的應(yīng)用電路中,而不是涵蓋所有的關(guān)鍵器件參數(shù),使器件難以不經(jīng)進(jìn)一步測試便重新用于其它項(xiàng)目。數(shù)據(jù)手冊未列出的關(guān)鍵IC屬性(如金屬互連的電子遷移)可能在高溫時引起故障。
針對高溫壓力傳感器設(shè)計并通過認(rèn)證的IC要想在高溫條件下順利工作,必須能夠同時管理多個關(guān)鍵器件特性。其中一項(xiàng)最重要也是最為人熟知的挑戰(zhàn)是因?yàn)橐r底漏電流上升而產(chǎn)生。其他因素包括載流子遷移率, 下降、VT, β, 和 VSAT, 等器件參數(shù)變化、金屬互連電子遷移增加,以及電介質(zhì)擊穿強(qiáng)度下降。雖然標(biāo)準(zhǔn)硅可以在125°C以上的軍用溫度要求下正常工作,但每上升10°C,標(biāo)準(zhǔn)硅工藝中的泄露就會增加一倍,許多精密應(yīng)用都不能接受這一情況。溝道隔離、絕緣硅片 (SOI)和標(biāo)準(zhǔn)硅工藝中的其他變化都會大大降低泄露,使高性能工作溫度遠(yuǎn)高于200°C。碳化硅(SiC)之類的寬帶隙材料會使性能進(jìn)一步提升,實(shí)驗(yàn)室研究顯示,碳化硅IC可在高達(dá)600°C下工作。但是,SiC是一種新型的工藝技術(shù),目前市場上只有功率開關(guān)之類的簡單器件。本文由澤天傳感歸納整理,轉(zhuǎn)載請保留。
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